Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов
Шевчук С.Л.
Настоящая диссертация посвящена проблеме развития метода реактивного ионно-лучевого синтеза (РИЛС) тонких пленок непосредственно из широких низкоэнергетичных пучков ионов высокой интенсивности, формируемых ионным источником (ИИ) с замкнутым дрейфом электронов.
Kategori:
Tahun:
2002
Edisi:
Кандидатская диссертация
Bahasa:
russian
Halaman:
161
File:
PDF, 8.29 MB
IPFS:
,
russian, 2002
Litres
Ingin menambahkan toko buku? Hubungi kami melalui support@z-lib.do
Konversi file
Lebih banyak hasil pencarian
Manfaat yang lain 
